霍尔离子源:体积小,结构紧凑、操作方便、性能可靠、用气量小和阳极清洗方便。
考夫曼离子源:弥补了国产离子源长期以来阳极不易清洗、离子流低无水冷的缺点;阴极结构具有安装简捷方便的优点。
阳极层离子源:具有离子能量高、离子均匀区宽、束流大等特点。
空心阴极电子源:为考夫曼离子源、射频离子源提供中和电子,为霍尔离子源提供气体放电的的快速电子流和中和电子流。
经典客户群:中国航空工业洛阳某研究所、中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所、黑龙江大学电子工程学院、中国科学院西安光学精密机械研究所、中国科学院沈阳科学仪器研制中心、其他若干真空科技有限公司
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