阳极层等离子体源简介

    阳极层离子源通过气体放电原理，产生离子束，由于离子的产生和加速发生在阳极附近的一个狭小的区域，所以把这种离子源叫做阳极层离子源。
    我公司自行研发完全自主知识产权的LIBS系列阳极层离子源，具有离子能量高、离子均匀区宽、束流大等特点，其长时间稳定工作、实现一键式操作等优点。本公司研制的LIBS系列阳极层离子源中采用了一些独特的设计：通过对磁场进行有限元分析，采用具有棱镜效应的磁场设计，放电气体高效绝缘及内置均匀性布气，从而保证可工作在高压下离子束均匀。内、外阴极、阳极三路不锈钢材料水冷设计，保证了长期工作的可靠性。并经过多次正交实验，优化产品结构，保证良好的放电特性。具有体积小，结构紧凑、操作方便、性能可靠、阳极清洗方便等一系列优点。可根据客户要求调整产品，产生扩散型离子束或碰撞型离子束。
    在阳极层离子源中离子的加速是在电子本底中进行的，不存在空间电荷限制(不受2/3方定律限制)，,因而可获得很大的离子流。特殊设计保证从离子源引出的离子具有离子束发散角小、离子束流密度高等特点，,因而使其更利于刻蚀、预清洗和离子束辅助镀膜等的需要。