空心阴极电子源简介

    空心阴极电子源可以为考夫曼离子源、射频离子源提供中和电子，可以为霍尔离子源提供气体放电的所需的快速电子流和中和电子流，由于没有了钨丝等污染源，可以使镀膜过程更加清洁，没有离子溅射刻蚀阴极灯丝，使离子源工作周期更长，减少了维护成本，由于没有加热源，从而更容易控制镀膜基片的温度，减少了镀膜过程基片温度的耦合度，为开发研制更高规格的光学器件，电子器件创造了条件。
    空心阴极效应具有低电压大电流离化率高的优点。其原理在于电子在空心阴极的特殊运动形式——摆动，在真空度一定的，相应的增加电子自由程，从而更宜于导致气体原子的激发和电离，空心阴极效应在低于某一最小气压时，并不能自发出现，所以在真空度一定的情况下，空心阴极放电需要点燃，方式一般为高压引弧和高频引弧两种方式，高压引弧所需点燃直流电压比较高，而维持一定电流所需的维持电压比较低，我们采用了高压引弧方式。空心阴极电子源具有体积小，结构紧凑、操作方便、性能可靠、用气量小和更换空心阴极管简单方便等一系列优点。