干式真空泵

伴随着薄膜行业和半导体行业的发展，分子泵和低温泵越来越多的代替了油扩散泵作为真空系统的主泵，典型的机组为：旋片泵＋分子泵。

无油真空泵的应用：

1、代替旋片泵作为分子泵的前级泵: 无油泵＋分子泵

2、在真空度要求不是很高、清洁度要求很高的地方可以用无油泵作为主泵。

常见无油真空泵

螺杆泵